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  • 淺談功率半導(dǎo)體燒結(jié)貼片技術(shù)
    淺談功率半導(dǎo)體燒結(jié)貼片技術(shù)
  • 淺談功率半導(dǎo)體燒結(jié)貼片技術(shù)
  • 來源:powerelectronicsnews  發(fā)布日期: 2021-11-14  瀏覽次數(shù): 2,176

    功率半導(dǎo)體器件又被稱為電力電子器件,是電力電子技術(shù)的基礎(chǔ),也是構(gòu)成電力電子變換裝置的核心器件。功率半導(dǎo)體器件處于現(xiàn)代電力電子變換器的核心地位,它對(duì)裝置的可靠性、成本和性能起著十分重要的作用。功率半導(dǎo)體器件根據(jù)集成程度可分為功率IC和功率半導(dǎo)體分立器件。功率IC是將功率分立器件與驅(qū)動(dòng)、保護(hù)等電路集成在一個(gè)半導(dǎo)體晶片上;功率分立器件可分為二極管、晶體管、晶閘管三大類別,晶體管中MOSFET、IGBT、BJT應(yīng)用廣泛。

    技術(shù)正在不斷發(fā)展。工業(yè)部門跟隨發(fā)展,公司專注于市場(chǎng)上最需要的應(yīng)用,根據(jù)消費(fèi)者的需求改變他們的生產(chǎn)重點(diǎn)。AMX 為其燒結(jié)壓機(jī)發(fā)明了一種新型燒結(jié)工具?Micro-Punch,它可以獨(dú)立地以特定壓力(熱敏電阻、IGBT、MOSFET)將每個(gè)組件壓在基板上,芯片,芯片)。據(jù) AMX 稱,Micro-Punch 工具可確保壓力均勻并消除以下高價(jià)值問題:模具斷裂、傾斜、分層和空隙。Micro-Punch 工具對(duì)芯片的數(shù)量或放置沒有限制;它可以適應(yīng)任何 DBC 尺寸或配置,并且可以獨(dú)立壓制最薄和最小的模具,即使它們彼此非常接近。

    加壓燒結(jié)

    銀 (Ag)/銅 (Cu) 壓力燒結(jié)(見圖 1)是一種應(yīng)用于粉末材料(即納米顆粒)的熱處理工藝,以提供更高的強(qiáng)度、完整性和導(dǎo)電性。據(jù) AMX 稱,燒結(jié)目前被認(rèn)為是連接電力電子元件的最可靠技術(shù)。銀燒結(jié)膏是目前應(yīng)用最廣泛的材料。熔點(diǎn)約為 960?C,銀燒結(jié)膏的熱導(dǎo)率介于 130 和 250 W/(m·K) 之間。銀燒結(jié)膏對(duì)環(huán)氧樹脂具有很高的附著力,可以將組件保持在固定位置以實(shí)現(xiàn)出色的管理,并且通常可以提高工藝的總產(chǎn)量。下一代需要銅燒結(jié),特別是為了實(shí)現(xiàn)顯著的成本節(jié)約。與其他粘合方法相比,

    • 它具有最佳的導(dǎo)熱系數(shù) (》150 W/(m?K))。
    • 它具有最好的導(dǎo)電系數(shù)。
    • 它在耐久性測(cè)試中提供了最佳結(jié)果,甚至比焊接互連好 100 倍。
    • 它顯示出較高的重熔溫度 (》400?C)。

    據(jù) AMX 稱,其專利壓力燒結(jié)技術(shù)允許:

    • 在 DBC/AMC 和其他電鍍基板或裸銅上燒結(jié)硅和碳化硅
    • 框架/離散
    • 嵌入式模具、夾子、墊片等。
    • 不同材料、表面和工藝的相互作用

    新應(yīng)用包括多級(jí)互連、集成模塊、組件連接、配電、UPS 轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)、充電站、逆變器、伺服電機(jī)、雷達(dá)和傳感器。

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    圖 1:壓力燒結(jié)示意圖

    一種新方法:Micro-Punch

    在研究過程中,該公司獲得了一項(xiàng)創(chuàng)新專利,該創(chuàng)新從燒結(jié)工藝中獲得了最佳效果,如圖 2 所示。這就是 Micro-Punch 系統(tǒng),它與傳統(tǒng)系統(tǒng)完全不同,比以前的系統(tǒng)有了顯著的進(jìn)步用過的。第一個(gè)系統(tǒng)由一個(gè)單一的壓力機(jī)組成,它對(duì)所有組件施加相同的力。各種部件的任何厚度差異都不可避免地帶來問題。換句話說,如果在某個(gè)點(diǎn)上面團(tuán)層稍厚,則所有壓機(jī)的力都精確地施加在該點(diǎn)上,從而使壓力不成比例地增加并增加了材料破裂的風(fēng)險(xiǎn)。

    該公司通過 Micro-Punch 系統(tǒng)引入了一項(xiàng)重大創(chuàng)新:現(xiàn)在使用專用壓機(jī)在每個(gè)點(diǎn)上獨(dú)立施加壓力。結(jié)果,之前的問題被消除了。AMX 的銷售經(jīng)理 Alessio Greci 說:“AMX 專利徹底革新了這個(gè)生產(chǎn)領(lǐng)域。比賽開發(fā)了一些中間和替代解決方案,通常將幾個(gè)壓力機(jī)分組為子組,但 MicroPunch 系統(tǒng)在可重復(fù)性方面表現(xiàn)出色,尤其是在高級(jí)包裝應(yīng)用中,盡管擁有成本和處理時(shí)間相同?!?/p>

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    圖 2:AMX 獲得專利的方法之一(右)與經(jīng)典方法(左)

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    圖 3:AG 燒結(jié)技術(shù)的演變

    最大程度的定制

    據(jù) AMX 稱,Micro-Punch 系統(tǒng)可定制以滿足客戶的需求。事實(shí)上,他們中的許多人更關(guān)心解決方案的準(zhǔn)確性和可靠性,而不是其成本。消除材料破損問題是首要要求。當(dāng)過程中涉及各種類型的電子元件(例如二極管、MOSFET 和熱敏電阻的組合)時(shí),這種要求最為明顯。使用 Micro-Punch,每個(gè)壓腳都專用于一個(gè)點(diǎn)(見圖 4),整個(gè)系統(tǒng)能夠獨(dú)立壓緊熱敏電阻和 IGBT。

    此外,根據(jù) AMX 的說法,Micro-Punch 可以對(duì)各種電子元件施加不同且獨(dú)立的壓力。通過這種方式,如果客戶認(rèn)為組件更脆并且對(duì)高壓沒有很好的響應(yīng),他們可以稍微減小壓力。因此,在設(shè)計(jì)階段并根據(jù)客戶的規(guī)格,可以在不同的壓力和應(yīng)用的組件之間進(jìn)行選擇。因此,最終生產(chǎn)的機(jī)器是定制的,以滿足最終用戶的需求。例如,可以定義各種活塞之間的壓力比,指定一個(gè)參數(shù),該參數(shù)標(biāo)識(shí)一個(gè)活塞的壓力必須是另一個(gè)活塞的兩倍。

    “顯然,這些最初選擇的參數(shù)可以在每次回路改變時(shí)由客戶修改,[他們] 可以不時(shí)修改所施加壓力之間的關(guān)系,”格雷西說。他繼續(xù)說道,“Micro-Punch 系統(tǒng)可以處理彼此非常接近的元素,因?yàn)槔碚撋线@些組件的 GAP 可以為零,并且可以在自由移動(dòng)的同時(shí)相互接觸。燒結(jié)目前用于半導(dǎo)體應(yīng)用,例如 SiC?!?/p>

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    圖 4:?jiǎn)蝹€(gè)沖頭允許您單獨(dú)施加壓力。

    汽車行業(yè)的燒結(jié)

    在過去的幾年里,汽車中的一切都是焊接在一起的。AMX 還在汽車領(lǐng)域?qū)嵤毫Y(jié)方法,特別是對(duì)于超高功率模塊。今天,市場(chǎng)需要更大的小型化和高功率,公司的大部分活動(dòng)都將專注于此類應(yīng)用。也有帶火車的公共交通工具的實(shí)現(xiàn),但它們顯然沒有空間問題。事實(shí)上,小型化主要涉及汽車領(lǐng)域。電源模塊的其他應(yīng)用還涉及數(shù)據(jù)中心、不間斷電源和大型電源變壓器

    壓力燒結(jié):一組重要參數(shù)

    不同燒結(jié)程序之間的差異與其說是由要燒結(jié)的部件類型決定,不如說是由選擇和使用的漿料決定??蛻艨梢赃x擇要遵循的粘貼和工作流程。顯然有一些初始參數(shù)是先驗(yàn)選擇的,或多或少是標(biāo)準(zhǔn)的。燒結(jié)過程需要大約 250?C 的溫度、15 到 25 兆帕的壓力和大約三分鐘的時(shí)間。這是描述整個(gè)過程的起點(diǎn)。

    根據(jù)初始結(jié)果,可以調(diào)整一些參數(shù)以獲得最佳結(jié)果。通常,客戶會(huì)檢查力或熱力的影響,觀察組件對(duì)各種類型疲勞的反應(yīng),并在顯微鏡下分析各個(gè)零件。通常,這些參數(shù)由焊膏制造商設(shè)置,并在試驗(yàn)過程中逐個(gè)進(jìn)行微調(diào)。最后,壓力燒結(jié)是一種允許高溫密封的工藝,具有高可靠性和完美的可重復(fù)性,目前被認(rèn)為是最好的解決方案。必須評(píng)估其他參數(shù),例如溫度和熱膨脹系數(shù)。

    雙反饋系統(tǒng)

    AMX 提供“雙反饋”選項(xiàng)。這是一個(gè)功能,可避免在向組件施加壓力時(shí)出錯(cuò)。控制施加在兩個(gè)方面的壓力:

    • 在壓力機(jī)上
    • 在施加力的特定點(diǎn)上

    使用力傳感器進(jìn)行的雙重檢查評(píng)估施加到壓具上的力是否與組件接收到的力一致。了解整個(gè)燒結(jié)區(qū)域后,您可以計(jì)算從上方施加的壓力以及約束反作用力的理論力,并將其與傳感器輸出進(jìn)行比較(見圖 5)。事實(shí)上,操作者可能會(huì)卸下壓腳進(jìn)行清潔,然后忘記更換。在這種情況下,編程壓力將與施加到組件上的實(shí)際壓力不同,從而導(dǎo)致顯著的力不平衡。換句話說,當(dāng)壓腳沒有施加預(yù)期的力時(shí),系統(tǒng)會(huì)檢測(cè)并通知操作員。幾個(gè)傳感器也用于氧氣濃度和溫度,雖然看似多余,出于安全原因使用(例如,傳感器可能會(huì)發(fā)生故障)。收集所有這些信息是為了獲得整個(gè)過程的完整概況。

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    圖 5:在壓力燒結(jié)中,每個(gè)壓力機(jī)都受到控制并且完全獨(dú)立于其他壓力機(jī)。


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