作者：深圳市微納制造產(chǎn)業(yè)促進(jìn)會(huì)

上期我們介紹到，村田制作所（Murata）量產(chǎn)全球最小電感，采用的是“Thick Film Lithography”工藝。先進(jìn)的產(chǎn)業(yè)技術(shù)往往是保密的，村田官方對(duì)這項(xiàng)技術(shù)的介紹也寥寥幾句，只有簡(jiǎn)單的工藝流程圖。同時(shí)說(shuō)明可以達(dá)到更小的尺寸，更高的Q值，更好的一致性等。

圖1：Thick Film Lithography工藝流程（來(lái)源：村田制作所官網(wǎng)）

眾所周至，村田制作所是一家全球性的綜合電子元器件制造商，主要從事以陶瓷為基礎(chǔ)的電子元器件的開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售業(yè)務(wù)，產(chǎn)品有電容器、電感器、電阻器、傳感器、耦合器……幾乎生產(chǎn)所有電子元器件，而且是目前全球最大的LTCC制造廠商。

村田能長(zhǎng)期保持的領(lǐng)先地位，與其重視核心技術(shù)研發(fā)，堅(jiān)持產(chǎn)品優(yōu)化、工藝改進(jìn)不無(wú)

關(guān)系，前面提到的Thick Film Lithography就是近年來(lái)開(kāi)發(fā)的創(chuàng)新工藝技術(shù)之一，也是其專(zhuān)門(mén)為多層陶瓷器件高精度金屬化電路制造研發(fā)的專(zhuān)用技術(shù)。從技術(shù)路徑上Thick Film Lithography Process改進(jìn)了原有的直接印刷工藝，使精度一致性等得到巨大提升。

圖2：LTCC生產(chǎn)流程（來(lái)源：券商研報(bào)）

在電子陶瓷產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中，印刷工藝已經(jīng)成為一項(xiàng)不可或缺的工藝手段，如低溫共燒陶瓷（LTCC）、高溫共燒陶瓷（HTCC）、片式多層陶瓷電容器（MLCC）等，在生產(chǎn)過(guò)程中都大量采用了印刷工藝。微電子產(chǎn)品小型化、輕量化的要求，促使電子封裝技術(shù)向高集成度、高封裝密度的方向發(fā)展，這就要求電路中導(dǎo)體線條和線間距越來(lái)越小、分辨率越來(lái)越高，如何升級(jí)印刷工藝達(dá)到更高的精度和分辨率將會(huì)成為產(chǎn)業(yè)最重要的技術(shù)高地。基于以上制造原理可以發(fā)現(xiàn) ，LTCC的燒結(jié)工序制約了鍍膜技術(shù)的使用，而Thick Film Lithography Process是目前發(fā)現(xiàn)的極少數(shù)適應(yīng)高溫?zé)Y(jié)金屬化方式的高精度光刻量產(chǎn)工藝路線。

在高精度和小型化成為趨勢(shì)的今天，村田推動(dòng)的Thick Film Lithography技術(shù)大概率會(huì)成為引導(dǎo)無(wú)源器件產(chǎn)品進(jìn)一步進(jìn)化的關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點(diǎn)。據(jù)悉，以順絡(luò)電子為代表的國(guó)內(nèi)器件龍頭企業(yè)已跟進(jìn)這一技術(shù)，基于產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)分析，小型化電感器上的應(yīng)用只是剛剛開(kāi)始，可以預(yù)見(jiàn)這一技術(shù)未來(lái)會(huì)在LTCC領(lǐng)域大放異彩。